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| SEMI S23 | Guide for energy, Utilities, and materials use efficiency of semiconductor manufacturing equipment 半導體制造設(shè)備的能源、電力、原料的節(jié)約標準 |
SEMI標準認證的重要性
SEMI S 系列標準對半導體行業(yè)的安全和可持續(xù)發(fā)展具有深遠的影響力。符合SEMI要求不僅符合了國際相關(guān)規(guī)定，也是主流芯片制造商引進機臺設(shè)備的主要判別安全標準。SEMI 認證已得到國際晶圓大廠Intel、TSMC、TEL等普遍認可，SEMI認證已成為國際通行并被產(chǎn)業(yè)鏈廣泛認可的通行證。國際晶圓廠家均要求設(shè)備及子系統(tǒng)廠商提供SEMI標準認證證書。中國本土領(lǐng)先半導體廠商NAURA、SME、AMEC等均已通過SEMI認證。符合SEMI標準不僅符合了國際相關(guān)規(guī)定，也是半導體產(chǎn)業(yè)的必要條件之一。