SEMI S2

SEMI S2 設(shè)備安全評(píng)估：

SEMI S2針對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備的環(huán)境、健康及安全標(biāo)準(zhǔn)要求，涉及電氣、機(jī)械、防火、化學(xué)、輻射、噪音、防震等各方面的安全領(lǐng)域，代表了全球半導(dǎo)體行業(yè)的基本安全要求。

SEMI S 系列標(biāo)準(zhǔn)介紹:

半導(dǎo)體設(shè)備SEMI認(rèn)證評(píng)估是根據(jù)SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境健康和安全委員會(huì)（EHS TC）制定的S系列全球性行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和準(zhǔn)則，適用于半導(dǎo)體材料和制造設(shè)備，是半導(dǎo)體業(yè)界對(duì)設(shè)備的必備規(guī)格要求，可有效降低危害風(fēng)險(xiǎn)。 SEMI S 系列標(biāo)準(zhǔn)最早誕生于1986年，其中SEMI S2 于1991年發(fā)布出版，經(jīng)過歷年更新修訂，2018年12月發(fā)布最新英文版本S2-0818E。半導(dǎo)體行業(yè)為了降低危險(xiǎn)，采用非常多類別的防制與管理措施，SEMI S系列標(biāo)準(zhǔn)旨在為半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備提供環(huán)境、健康、安全方面的導(dǎo)則。內(nèi)容涵蓋半導(dǎo)體設(shè)備安裝指導(dǎo)、廢氣處理、危險(xiǎn)警告標(biāo)簽、液體加熱系統(tǒng)、通風(fēng)排氣、資質(zhì)評(píng)估、人機(jī)工程、危險(xiǎn)評(píng)估、生產(chǎn)設(shè)備凈化、安全指導(dǎo)手冊(cè)、防火安全、安全聯(lián)鎖系統(tǒng)電子設(shè)計(jì)、電離輻射、激光輻射等級(jí)、噪音污染等級(jí)，SEMI 標(biāo)準(zhǔn)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)、測(cè)試、集成。 其中最典型的措施是在采購(gòu)設(shè)備系統(tǒng)時(shí)，將SEMI S2安規(guī)認(rèn)證、SEMI F47電壓暫降、SEMI S23能效列為必備的規(guī)格要求。