SEMI 之下的安全工作小組制定了一套適用于半導體及相關制造設備的環(huán)境、安全及健康的效能因子,并發(fā)展出SEMI S2國際安全指引的工業(yè)評估應用方式。目前符合SEMI S2 不僅符合了國際相關規(guī)定,也是半導體產業(yè)的保險公司所要求的必要條件之一。
SEMI S2 國際安全指引以效能考量為主,涵蓋半導體制造設備的環(huán)境、健康及安全條件。具體說來,SEMI S2涉及電氣、機械、防火、化學、輻射、噪音和防震等安全領域。
與其他SEMI指令相比,例如,SEMI S8(人體工學要求)和SEMI S10(風險評估)一起使用,SEMI S2代表了半導體廠家的基本安全要求。過去半導體業(yè)者為了降低機械危害的風險,采取非常多類別的防制與管理措施,其中最典型的措施是在采購設備系統(tǒng)時,即將SEMI S2安規(guī)認證列為必備的規(guī)格要求。